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多孔氧化铝基相位透射光栅制备

  多孔氧化铝基相变透射光栅的制备

  中国科学院宁波材料技术与工程研究所在衍射光学元件低成本制造方面已取得进展。相关论文被Optics Letters公司接受并提前在线发表。该杂志由美国光学学会赞助,以其快速报道光学领域的最新研究而闻名。
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博士后研究员王彪崔平宋伟杰纳米材料表面合成有序纳米多孔材料和微/纳米加工的两种先进技术被提出。在本文中,一种有序的多孔阳极氧化在铝基板上获得所需图案的低成本方法。在正常的光刻处理步骤完成之后,它们使用化学蚀刻代替常用的干法蚀刻工艺,以将所需的微细文本快速转印到多孔阳极氧化铝片上。实验证明,通过上述方法可以在多孔氧化铝薄片上刻上高精度的图形结构,而加工深度的图形结构可以轻易地超过10μm以上。该方法将衍射光学元件(例如透射光栅)的处理从传统的致密光学材料扩展到有序的纳米多孔材料,并且预期适合于制造高性能衍射光学元件。例如,当刻蚀在多孔氧化铝上的图案是光栅条纹时,获得的单色激光衍射结果与理论计算值很好地吻合。 (来源:中国科学院尼莫研究所)氧化铝基激光器和相位透射光栅衍射图

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